自由选择分析范围，针对图像上点、线、面等不同区域的元素鉴别，配以优异的可视化分析算法和软件，实现相近谱峰精准分离、元素空间分布展示等功能，可应用于研究材料的界面布局、元素均匀性、扩散等特性。
与传统的扫描电镜不同，本仪器将EDS作为一种探测器一起集成在电镜上，独家开发BSE视频数据和EDS能谱数据同步处理的算法，可扫描获取多种信号同时执行元素分析，实时检测形貌与各种元素含量信息。
抽真空时间短，样品更换便捷，提升检测效率。高真空模式，适用于导电样品，可获得最佳分辨率和信噪比；低真空模式，适用于非导电样品(如陶瓷、高分子、生物组织)，无需喷金处理，直接观察。
告别漫长等待！本系统打破传统束缚，让定量分析结果如同"直播"般实时呈现。您可以在数据采集的同时，轻松调取历史谱图进行即时对比，这种"边采边对比"的智能体验，助力您的工作效率飞升！
在新能源材料研究中，SEM为新能源材料的研发和性能优化提供了重要的微观信息。其能清晰显示电池电极材料的颗粒大小和孔隙结构，可区分不同材料相，帮助研究人员了解材料的均匀性。能谱探测器可用于分析材料成分，确保材料纯度和一致性。 |
SEM主要用于对晶圆、芯片及封装结构进行微观形貌观察与缺陷分析。其应用覆盖芯片制造的前道工艺和后道封装环节，可灵活部署于实验室内或产线附近，有效缩短样品送检周期，提升工艺监控的及时性。 |
SEM可用于观察金属微观组织结构，可清晰呈现晶粒大小和晶界形态，为了解金属基本性能提供依据；可区分不同相，助力相分析。能谱探测器可分析金属成分，检测杂质元素。 |
地球科学 在地球科学中，SEM可观察矿物晶体的形态、大小和排列方式，帮助科学家推断矿物的形成环境，也能区分不同矿物成分，为岩石的成分分析提供直观图像。搭配EDS可用于精确分析矿物的元素组成，确定矿物种类。为地质学家研究地球历史和地质过程提供了重要的微观证据。 |
生命科学 SEM可用于观察细胞和生物组织的表面结构,清晰呈现细胞的轮廓、微绒毛等细节，帮助研究人员了解细胞的形态和功能。背散射电子探测器可以根据细胞成分的差异进行区分，提供细胞内部结构的初步信息。能谱探测器可用于分析细胞内元素的分布，如钙、磷等，为生物材料研究和细胞生物学研究提供基础数据。 |
材料科学 在材料科学中，SEM可清晰观察材料表面的微观形貌，如晶粒大小和分布，帮助研究人员初步了解材料结构。背散射电子探测器能根据原子序数差异区分不同材料相，为相分析提供依据。能谱探测器则用于基本的成分分析，确定材料中元素的种类和大致含量。这些功能为材料的初步研究和性能评估提供了重要的微观信息。 |
工业制造 SEM主要用于质量检测和工艺优化,可检查零件表面的加工痕迹、磨损情况以及微观缺陷，确保产品精度和质量；识别材料成分差异，帮助发现杂质或材料不均匀性；进一步分析材料成分，确保符合设计要求。其有助于提高产品质量，减少次品率，优化生产流程。 |
| 尺寸（W×L×H） | 350 mm× 620 mm× 600 mm |
| 重量 | 66kg |
| 加速电压 | 0-20 kV |
三轴自动样品台 （可选配五轴样品台） | X:100mm Y:100 mm Z:60 mm |
| 最大样品尺寸 | 200 mm（直径）60mm（厚度） |
| 最大放大倍率 | ≥250000x |
| 电子枪 | 预对中钨灯丝电子枪 |
| 探测器 | 背散射电子：高感度4分割 背散电子检测器 二次电子：二次电子检测器 EDS：实时能谱探测器 |
| EDS参数 | 探测器类型：硅漂移探测器 探测面积：30mm2 元素分析范围：B（硼）-Cf（锎） |
| 低真空模式 | 标配 |
